二、東元伺服在固晶機(jī)的應(yīng)用
       固晶機(jī)上總共采用4套200W伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分別控制X,Y軸傳動機(jī)構(gòu)以及鍵合臂取晶動作。其中要求的為控制鍵合臂的100W伺服。

三、伺服動作要求
       100W伺服電機(jī)通過同步帶帶動連桿快速正反轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時(shí)針和順時(shí)針方向位移，逆時(shí)針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時(shí)針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時(shí)，馬達(dá)要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準(zhǔn)確；2.客戶要求每個(gè)動作周期盡量的快，由此對伺服的響應(yīng)有較高要求。 
通過伺服增益參數(shù)的調(diào)整，終可以實(shí)現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內(nèi)完成整定，整個(gè)固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認(rèn)可。 
伺服參數(shù)設(shè)定：

應(yīng)用優(yōu)勢：
1、維持水壓恒定 
2、控制系統(tǒng)可手動/自動運(yùn)行 
3、多臺泵自動切換運(yùn)行 
4、系統(tǒng)睡眠與喚醒，當(dāng)外界停止用水時(shí)，系統(tǒng)處于睡眠狀態(tài)，直至有用水需求時(shí)自動喚醒 
5、泵組及線路保護(hù)檢測報(bào)警，信號顯示等將管網(wǎng)的實(shí)際壓力經(jīng)反饋后與給定壓力進(jìn)行比較，當(dāng)管網(wǎng)壓力不足時(shí)，變頻器增大輸出頻率，水泵轉(zhuǎn)速加快，供水量增加，迫使管網(wǎng)壓力上升。反之水泵轉(zhuǎn)速減慢，供水量減小，管網(wǎng)壓力下降，保持恒壓供水。